عنوان انگلیسی مقاله :
Characterization of two novel low frequency microphones for photoacoustic gas sensors
عنوان ترجمه فارسی مقاله :
بیان مشخصات دو میکروفون فرکانس-پایین جدید برای سنسورهای گازی فوتوصوتی
_______________________________________
چکیده فارسی مقاله
مفهوم فوتوصوتیبرای اندازهگیریغلظت گازبخوبی براساسمونتاژ ماکرومکانیکی اثبات شده است. با اینحال،فوتوصوت مبتنی بر میکروسیستممیتواندازابعاد کوچکتر و هزینهکمتراستفاده کند، اما برای رقابت نیاز به میکروفون با وضوح بالادارد. در اینجا، توصیف مشخصاتدومیکروفونبا فرکانسکم اختصاصی ارائه میشود. هر دومیکروفونبافرایندریختهگری (ساخت)MPW یکسان ساختهشدهاند، اما ازگامپسپردازشاضافی کهتهویه شیارهایباریک را از طریقغشاهایضخامتچندگانه کهحساسیتمیکروفونرا افزایش میدهداستفاده شده است. نتایج اولیهحساسیت را نشان میدهدکه برایسنسورهایگاز فوتوصوتی با وضوح بالا کافی است.
نوشتن دیدگاه